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低温等离子净化器中等离子体是一种聚集态物质，它有别于常识中的“固”、“液”、“气”三态物质，是物质的第四态，其所拥有的电子同空气中的分子碰撞时会发生一系列基元物化反应，并在反应过程中产生多种活性自由基和生态氧，即臭氧分解而产生的原子氧。
低温等离子净化器去除污染物的原理：
在外加电场的作用下，介质放电产生的大量携能电子轰击污染物分子，使其电离、解离和激发，然后便引发了一系列复杂的物理、化学反应，使复杂大分子污染物转变为简单小分子物质，或使物质转变成或低毒低害的物质，从而使污染物得以降解去除。因其电离后产生的电子平均能量在10ev，适当控制反应条件可以实现一般情况下难以实现或速度很慢的化学反应变得。
传统的废气处理方法会受到很多条件的限制，但是使用低温等离子进行废气处理受到的限制就会相对少很多，同时它还具有很多潜在的优势。低温等离子净化器在进行工作的时候，它主要采用到了的吸附、分解、碳化的方式，离心式抽风机的安装和新的工艺技术的应用让等离子净化器具有着多的优点，它也是一种干法处理废气的设备。等离子净化器在工业中的应用改变了活性炭材料的工艺和技术，在使用的时候换维护都会方便一些。